国产真空泵哪家最好,螺杆式干式真空泵

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干式真空泵可用于光伏产业链中硅片的拉晶环节、电池片的钝化镀膜环节（PECVD/ALD等设备）、组件的层压环节等。3、全球竞争格局及国产化进程全球真空领域的10^5 Pa-10^2 Pa；中真空，10^2 Pa-10^-1 Pa；高真空，10^-1Pa-10^-5 Pa；超高真空，＜1

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